| 产品特性：使用范围广 | 是否进口：否 | 加工定制：否 |
| 品牌：MKS | 型号：925 | 类型：真空计 |
| 测量范围：10-5torrkPa | 适用范围：1.0*10-5torr |
MKS 925系列微皮拉尼真空计，是基于一个以微电子机械系统的热量传导型的真空传感器，925真空计可以用于真空压力测量和提供模拟电压输出，数字通讯和用于工艺控制的中继点。
产品特点：
● 压力测量范围在10ˉ5Torr 到大气压，大于普通的皮拉尼真空计2个测量等级 ● 3个用于工艺控制的中继点(选择性) ● 超精致的设计 ● 为工艺控制提供高的测量精度 ● 模拟的输出和数字通讯(RS232或RS485)提供了简便的操作 ● 可以抵御大气冲击和振动 ● 可以方便地安装于任何方向，没有任何测量精度的损失 ● 可以替代任何供应商的真空计和设施的升级 ● 符合欧洲CE，EMC标志
应 用：MKS925真空计可以使用于半导体工业的分析和镀膜工艺上的测量。 ● 一般的真空压力测量 ● 前极管路和低真空的测量 ● 气体的充填测量和控制 ● 质谱仪器的控制 ● ***真空计的启动● 工艺系统的控制 ● 控制系统的压力
